制程***、设备多元 面板厂工安考量大不同

【导读】：台湾面板厂导入安全规范的时间相当早，早在3.5代面板时，就已有相关作法，由于面板产业所使用的设备多与半导体产业类似，在厂房规划仍套用半导体制造设备的安全规范SEMI S2，再加以衍生应用；但只要从设备的规格来看，就可发现面板业与半导体产业仍有重要差异。
    北京时间11月09日消息，中国触摸屏网讯，面板是台湾相当重要的产业之一，面板所需的设备数量、尺寸，均不逊于半导体产线，不过台湾的面板技术居于******地位，并无国外案例可参考，因此多必须自订工安规范，以减少事故发生。
    本文来自：http://www.51touch.com/touchscreen/news/dynamic/201511/09-38892.html
    台湾面板厂导入安全规范的时间相当早，早在3.5代面板时，就已有相关作法，由于面板产业所使用的设备多与半导体产业类似，在厂房规划仍套用半导体制造设备的安全规范SEMI S2，再加以衍生应用；但只要从设备的规格来看，就可发现面板业与半导体产业仍有重要差异，当时3.5代玻璃基板已经超过12寸的晶圆尺寸，此一尺寸与半导体产业所需的厂房及设备规模完全不同，所可能造成的安全危害与风险程度也有所不同。
    面板设备设计阶段，就必须要求生产线上的所有设备，都应植入紧急关断及紧急停止安全元件。西门子提供
    因应面板制程本质  设计专属工安规范
    虽然该规范仍大部分适用于面板制造设备的需求，但将半导体设备规范直接套用在较大尺寸的面板设备上，的确显得有些格格不入，像是半导体产业的Chamber lid提举设备应用于面板产业，就有可能产生承载强度不足等问题，面板产业因此修正改采固定式起重设备作为提举器具，作业过程中仍可能发生人员操作吊荷的风险。
    此外，半导体产业引用的SEMI S2规范中，着重于单一设备安全规范，但面板产业机台为数个大型辅助设备组合而成，介面整合更形重要，因此对整合的安全问题必须更多着墨，但在SEMI S2却付之阙如。
    业界人士就指出，面板虽与半导体产业相近，但***是不一样的产业，LCD厂与半导体虽都追求设备规模与效率的极大化，但双方本质不同，势必会产生更多不同的安全要求，若设备商仅依循***EI S2标准，面板厂与配合厂房的风险将不易管控，设备商在设备设计时，会对面板厂的安全需求无法理解，因此在生产线的规画之初，同时针对面板制造的特质来进行安全防护规范的制订。
    因此，从4代跨到5代的面板厂开始规画兴建时，台湾面板业者开始投入制订适合面板业的安全规范，从SEMI S2为基准调整，并在厂房及生产线规画时同时导入这个规范。
    由于台湾的面板技术位居******地位，并没有相关的国外案例可参考，加上厂房设计的些许调整，生产线也因加速传输速度的需求，必须改变传统的无尘室设计；新设计导入的当下，让TFT-LCD制程上与传统半导体产业间的差距扩大，部份制造上的安全要件易被忽略，因此制订一套完整的第5代面板厂安全规范，就成了当时的首要考量。
    完整工安设计逻辑
    由于生产场域中设备的规格太多，安全讯息连结及整合的简化与一致更是相当重要；再加上不同世代厂房的改变，如何整合成一个没有***地带，可完全掌握的生产场域，***团队的需求成为此时发展安全规范时不可或缺的项目。
    适用于面板业或半导体产业的安全规范，在逻辑上并无明显差异，主要的问题，多发生在操作的细微面，这些问题多是面板生产线上的“特殊危害”，尤其是大面板的生产线上，包括承载、用电及动力的安全需求，就与传统半导体产业有些不同，像是机器手臂的操作要求等，就是SEMI S2中比较少着墨的。
    此外像是“作业排除”程序要求，也与半导体产业有些不同，半导体由于设备机构规模较小，如果人员处理也仅有手或者身体的一部分进入参与；但机构大到某一个程度后，***的重要部分就有可能会整个进入设备的机构中，***系数就相对较大。
    同时由于设备机构的大型化，机台与机台之间的连通，需要高架式自动化搬运系统辅助，自动化搬运系统以及机台与建筑物之间的安全规范，以及作业程序的设备整合连结规画。
    业界人士指出，包括安全规范、安全元件及设备安全等技术，必须开始整合成一套完整的逻辑与基准，***基础的，就是“安全连锁装置与元件”，由于面板制造设备的子系统繁多，也可能分由不同设备商所制造组装，因此安全连锁装置连动设计与安全元件规格标准化与单纯化，对于设备操作者与维修工程师的安全性相当重要，并从“人因”观点出发。
    因地制宜  设计东方人标准
    工安规范设定必须因地制宜，以SEMI S2规范为例，其规范制定为欧美***观点，以西方***型为主，台湾面板厂则主要为东方人，所有机构设置例如标示、紧急按钮位置，都必须重新考量不能纯粹依循SEMI制订的标准。
    现在的安全规范必须在设备设计阶段时就考量进去，过去传统工安概念多是将责任归诸在“人”的身上，由于LCD产业的作业程序，通常需要多个工程师共同合作，在协同工作的同时，如未将设备安全装置导入设计，仅靠标准作业程序执行人为的安全监控，在赶工或紧急状况处理时，如果沟通发生问题，即可能产生许多不可预测的变数，加上TFT-LCD制造设备的大型化，造成的会是比其他产业更严重的伤害。
    因此，在设备设计阶段，就必须要求生产线上的所有设备，都应植入紧急关断Emergency off(EMO)及紧急停止Emergency stop(EMS)安全元件，在设备采购初期即要求安全装置设计其中，比起后续再订定标准作业程序来补强，可节省更多不必要的成本浪费，这也是奇美电子与其他企业的不同逻辑思考。在设备维护端，则可透过所有安全元件的统整规格化，让所有的设备可以透过相同的装置或程序来完成，这种逻辑的一致性，减少因安全差异产生的复杂性，同时也降低***因子的发生。
    密切沟通  降低事故机率
    另外设备的危安因子也需进行分级，在***高等级的安全要求层级下，设备安全互锁机制及程序的要求也需是***高等级，在一般状况下，多数工作人员都会依照既定程序操作机台，但当产能要求存在压力时，就容易忽略，跳过一些“自认为”不必要的程序来操作设备，来争取时间达成目标，安全互锁机制的设置就是为了排除危害的发生，严格的要求也避免绕过机制的可能性。
    除了设备问题，标准作业程序也需因应整体工作环境的安全逻辑调整，包括人员的教育训练、安全连锁机制的沟通，与安全程序的制定，这些都必须藉由设备系统整合业者的协助，将安全规范导入上游的机台设计者、中游的设备组装者、代理者乃至下游的设备操作者。
    由上而下的教育及逻辑导入，可让面板业者从管理***到基层工程师，对设备安全逻辑更行瞭解，进而培养出信任关系，所有的人员对安全人员的认知，不再只是“稽核”的角色，而变成可信赖的夥伴，透过反映，***线人员的需求也可以在安全规范上呈现，让安全机制成为活的规范，也让产能及效率能加速提升，工作环境也因此被员工所信赖，进而减少事故，降低失能伤害。
(本文来自: 中国触摸屏网(http://www.51touch.com/) 详细出处参考：http://www.51touch.com/touchscreen/news/dynamic/201511/09-38892.html)